太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2005年
4期
585-588
,共4页
赵亮%周之斌%崔容强%丁尔峰%孟凡英%于化丛
趙亮%週之斌%崔容彊%丁爾峰%孟凡英%于化叢
조량%주지빈%최용강%정이봉%맹범영%우화총
晶体硅太阳电池%SiNx薄膜%烧穿%化学染色%结深
晶體硅太暘電池%SiNx薄膜%燒穿%化學染色%結深
정체규태양전지%SiNx박막%소천%화학염색%결심
介绍了在全国产设备构成的中试线上开展的高效单晶硅太阳电池研究工作,并制备出了最高转换效率达15.7%的单体电池(面积103×103mm2).实验采用PECVD方法制备SiNx减反、钝化薄膜,并采用正背面电极一次金属化烧结技术,同时完成氮化硅薄膜烧穿工艺.实验还研究了PECVD硅烷与氨气流量比对SiNx钝化、光学和保护性质的影响.分析了氮化硅薄膜及简化新工艺与提高太阳电池效率的关系.实验最后采用化学染色法测量了太阳电池的p-n结结深,结果表明该太阳电池的p-n结为0.25 μm的浅结,直接证明了SiNx薄膜对p-n结有良好的保护作用.
介紹瞭在全國產設備構成的中試線上開展的高效單晶硅太暘電池研究工作,併製備齣瞭最高轉換效率達15.7%的單體電池(麵積103×103mm2).實驗採用PECVD方法製備SiNx減反、鈍化薄膜,併採用正揹麵電極一次金屬化燒結技術,同時完成氮化硅薄膜燒穿工藝.實驗還研究瞭PECVD硅烷與氨氣流量比對SiNx鈍化、光學和保護性質的影響.分析瞭氮化硅薄膜及簡化新工藝與提高太暘電池效率的關繫.實驗最後採用化學染色法測量瞭太暘電池的p-n結結深,結果錶明該太暘電池的p-n結為0.25 μm的淺結,直接證明瞭SiNx薄膜對p-n結有良好的保護作用.
개소료재전국산설비구성적중시선상개전적고효단정규태양전지연구공작,병제비출료최고전환효솔체15.7%적단체전지(면적103×103mm2).실험채용PECVD방법제비SiNx감반、둔화박막,병채용정배면전겁일차금속화소결기술,동시완성담화규박막소천공예.실험환연구료PECVD규완여안기류량비대SiNx둔화、광학화보호성질적영향.분석료담화규박막급간화신공예여제고태양전지효솔적관계.실험최후채용화학염색법측량료태양전지적p-n결결심,결과표명해태양전지적p-n결위0.25 μm적천결,직접증명료SiNx박막대p-n결유량호적보호작용.
