微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2005年
4期
31-36
,共6页
苏亚辉%郭锐%董磊%郑志军%陈宇航%肖诗洲%黄文浩
囌亞輝%郭銳%董磊%鄭誌軍%陳宇航%肖詩洲%黃文浩
소아휘%곽예%동뢰%정지군%진우항%초시주%황문호
成型点%原子力显微镜%弹性模量%无针尖探针%力学模型
成型點%原子力顯微鏡%彈性模量%無針尖探針%力學模型
성형점%원자력현미경%탄성모량%무침첨탐침%역학모형
借助原子力显微镜,选用无针尖探针测量了材料为SCR500的成型点的力学性能,由于成型点的形状为椭球,根据测量方法建立了球-平面探针接触的Johnson-Kendall-Roberts弹性接触模型,考虑到成型点剩余部分形变对结果分析的影响,推算出单个成型点的弹性模量.测量和分析表明,双光子固化成型点的弹性模量大约为宏观材料的1/10.
藉助原子力顯微鏡,選用無針尖探針測量瞭材料為SCR500的成型點的力學性能,由于成型點的形狀為橢毬,根據測量方法建立瞭毬-平麵探針接觸的Johnson-Kendall-Roberts彈性接觸模型,攷慮到成型點剩餘部分形變對結果分析的影響,推算齣單箇成型點的彈性模量.測量和分析錶明,雙光子固化成型點的彈性模量大約為宏觀材料的1/10.
차조원자력현미경,선용무침첨탐침측량료재료위SCR500적성형점적역학성능,유우성형점적형상위타구,근거측량방법건립료구-평면탐침접촉적Johnson-Kendall-Roberts탄성접촉모형,고필도성형점잉여부분형변대결과분석적영향,추산출단개성형점적탄성모량.측량화분석표명,쌍광자고화성형점적탄성모량대약위굉관재료적1/10.
