强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2005年
z1期
167-170
,共4页
张伟丽%黄建兵%赵元安%邵建达%范瑞瑛%范正修
張偉麗%黃建兵%趙元安%邵建達%範瑞瑛%範正脩
장위려%황건병%조원안%소건체%범서영%범정수
波长分离膜%损伤阈值%膜系%Yb:YAG激光器
波長分離膜%損傷閾值%膜繫%Yb:YAG激光器
파장분리막%손상역치%막계%Yb:YAG격광기
以1 030 nm高反,940,980 nm高透的波长分离膜作为实例,为提高该薄膜元件的波长分离效果,从膜系的优化方面做了一系列的研究,诸如采用带通滤光片的设计思想,在膜堆两侧加入了匹配层,调整膜堆的周期厚度,并用膜系设计软件对通带作进一步的优化.通过这一系列的优化设计后,利用RF双离子束溅射工艺在BK7玻璃基底上沉积样品薄膜,并在基底背面加镀通带增透膜.结果显示,透射带在940和980 nm处的透过率分别为97.73%和93.63%,反射带在1 030 nm的反射率为99.99%.对所制备的样品薄膜进行了激光损伤阈值测量,得到了35 J/cm2(1 064 nm,12 ns)的结果.
以1 030 nm高反,940,980 nm高透的波長分離膜作為實例,為提高該薄膜元件的波長分離效果,從膜繫的優化方麵做瞭一繫列的研究,諸如採用帶通濾光片的設計思想,在膜堆兩側加入瞭匹配層,調整膜堆的週期厚度,併用膜繫設計軟件對通帶作進一步的優化.通過這一繫列的優化設計後,利用RF雙離子束濺射工藝在BK7玻璃基底上沉積樣品薄膜,併在基底揹麵加鍍通帶增透膜.結果顯示,透射帶在940和980 nm處的透過率分彆為97.73%和93.63%,反射帶在1 030 nm的反射率為99.99%.對所製備的樣品薄膜進行瞭激光損傷閾值測量,得到瞭35 J/cm2(1 064 nm,12 ns)的結果.
이1 030 nm고반,940,980 nm고투적파장분리막작위실례,위제고해박막원건적파장분리효과,종막계적우화방면주료일계렬적연구,제여채용대통려광편적설계사상,재막퇴량측가입료필배층,조정막퇴적주기후도,병용막계설계연건대통대작진일보적우화.통과저일계렬적우화설계후,이용RF쌍리자속천사공예재BK7파리기저상침적양품박막,병재기저배면가도통대증투막.결과현시,투사대재940화980 nm처적투과솔분별위97.73%화93.63%,반사대재1 030 nm적반사솔위99.99%.대소제비적양품박막진행료격광손상역치측량,득도료35 J/cm2(1 064 nm,12 ns)적결과.
