中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
z1期
52-54
,共3页
王银峰%杨学恒%刘安平%陈昌水
王銀峰%楊學恆%劉安平%陳昌水
왕은봉%양학항%류안평%진창수
大范围%高精度%扫描%工作平台
大範圍%高精度%掃描%工作平檯
대범위%고정도%소묘%공작평태
介绍了一种新型扫描探针显微镜镜体的设计,该镜体的扫描工作平台可以在3个方向以每步10nm的精度移动,它突破了扫描探针显微镜中压电陶瓷对扫描范围的限制,采用非压电陶瓷机械传动装置实现了大范围扫描.该设计采用逐级定位扫描放大技术将纳米测量与纳米加工范围延伸到25mm×25mm,甚至更大,镜体设计已经获得国家实用新型专利(ZL02221502.6).将该镜体应用在STM和AFM上,实现了对样品的大范围扫描检测,并保证了测量的高精度.
介紹瞭一種新型掃描探針顯微鏡鏡體的設計,該鏡體的掃描工作平檯可以在3箇方嚮以每步10nm的精度移動,它突破瞭掃描探針顯微鏡中壓電陶瓷對掃描範圍的限製,採用非壓電陶瓷機械傳動裝置實現瞭大範圍掃描.該設計採用逐級定位掃描放大技術將納米測量與納米加工範圍延伸到25mm×25mm,甚至更大,鏡體設計已經穫得國傢實用新型專利(ZL02221502.6).將該鏡體應用在STM和AFM上,實現瞭對樣品的大範圍掃描檢測,併保證瞭測量的高精度.
개소료일충신형소묘탐침현미경경체적설계,해경체적소묘공작평태가이재3개방향이매보10nm적정도이동,타돌파료소묘탐침현미경중압전도자대소묘범위적한제,채용비압전도자궤계전동장치실현료대범위소묘.해설계채용축급정위소묘방대기술장납미측량여납미가공범위연신도25mm×25mm,심지경대,경체설계이경획득국가실용신형전리(ZL02221502.6).장해경체응용재STM화AFM상,실현료대양품적대범위소묘검측,병보증료측량적고정도.
