功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2006年
10期
1557-1560
,共4页
印志强%孙小华%陈章红%李美亚%赵兴中
印誌彊%孫小華%陳章紅%李美亞%趙興中
인지강%손소화%진장홍%리미아%조흥중
BSTC薄膜%溶胶-凝胶%介电特性%调谐性%品质因子FOM
BSTC薄膜%溶膠-凝膠%介電特性%調諧性%品質因子FOM
BSTC박막%용효-응효%개전특성%조해성%품질인자FOM
利用溶胶凝胶工艺在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备了Co掺杂量为0～10%(摩尔分数)的(Ba0.6Sr0.4) Ti1-xCoxO3薄膜.研究了薄膜的结构、表面形貌、介电性能与Co掺杂量的关系.薄膜的介电损耗随着Co含量的增加而减少,在摩尔含量10%时达到最小值0.0128.FOM值在摩尔含量为2.5%达到最大值20,它的介电常数、介电损耗和调谐量分别为639.42、0.0218、43.6%.
利用溶膠凝膠工藝在Pt/TiO2/SiO2/Si襯底上製備瞭Co摻雜量為0～10%(摩爾分數)的(Ba0.6Sr0.4) Ti1-xCoxO3薄膜.研究瞭薄膜的結構、錶麵形貌、介電性能與Co摻雜量的關繫.薄膜的介電損耗隨著Co含量的增加而減少,在摩爾含量10%時達到最小值0.0128.FOM值在摩爾含量為2.5%達到最大值20,它的介電常數、介電損耗和調諧量分彆為639.42、0.0218、43.6%.
이용용효응효공예재Pt/TiO2/SiO2/Si츤저상제비료Co참잡량위0～10%(마이분수)적(Ba0.6Sr0.4) Ti1-xCoxO3박막.연구료박막적결구、표면형모、개전성능여Co참잡량적관계.박막적개전손모수착Co함량적증가이감소,재마이함량10%시체도최소치0.0128.FOM치재마이함량위2.5%체도최대치20,타적개전상수、개전손모화조해량분별위639.42、0.0218、43.6%.
