CAJ | 학술논문

采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上沉积了Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.借助XRD、AFM和SEM研究了衬底温度、退火温度、溅射气压等不同的溅射参数对Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜的晶化行为和显微结构的影响.在室温下沉积并未经退火处理的Ba0.65Sr0.35TiO3 薄膜是无定形态,在较高温度下沉积的薄膜晶化相对较好;随着在氧气气氛中退火温度的升高,X射线衍射峰的半峰宽变窄,衍射峰强度增强;在0.37～1.2Pa气压下沉积的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜有(110)和(200)主衍射峰,且其强度随溅射气压的增加而增强;当溅射气压继续升到3.9Pa,(110)和(200)衍射峰明显增强,说明Ba0.65Sr0.35TiO3 薄膜具有(110)+(200)择优取向.AFM和SEM结果显示薄膜晶粒细小均匀、结构致密、表面平整,且无裂纹、无孔洞.分析结果显示优化工艺参数制备的Ba0.65Sr0.35TiO3 薄膜是用以制备非致冷红外探测器的优质材料.
채용사빈자공천사법재Si(100)츤저상침적료Ba0.65Sr0.35TiO3박막.차조XRD、AFM화SEM연구료츤저온도、퇴화온도、천사기압등불동적천사삼수대Ba0.65Sr0.35TiO3박막적정화행위화현미결구적영향.재실온하침적병미경퇴화처리적Ba0.65Sr0.35TiO3 박막시무정형태,재교고온도하침적적박막정화상대교호;수착재양기기분중퇴화온도적승고,X사선연사봉적반봉관변착,연사봉강도증강;재0.37～1.2Pa기압하침적적Ba0.65Sr0.35TiO3박막유(110)화(200)주연사봉,차기강도수천사기압적증가이증강;당천사기압계속승도3.9Pa,(110)화(200)연사봉명현증강,설명Ba0.65Sr0.35TiO3 박막구유(110)+(200)택우취향.AFM화SEM결과현시박막정립세소균균、결구치밀、표면평정,차무렬문、무공동.분석결과현시우화공예삼수제비적Ba0.65Sr0.35TiO3 박막시용이제비비치랭홍외탐측기적우질재료.