材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2008年
Z2期
336-338
,共3页
张宇%左长明%王小平%宋晓科%姬洪
張宇%左長明%王小平%宋曉科%姬洪
장우%좌장명%왕소평%송효과%희홍
BIT%自缓冲层%择优取向%应力%摇摆曲线
BIT%自緩遲層%擇優取嚮%應力%搖襬麯線
BIT%자완충층%택우취향%응력%요파곡선
铁电薄膜的性能与薄膜的择优取向和应力有密切的联系.采用X射线衍射( XRD)对3片不同自缓冲层条件下的Bi4Ti3O12(B1T)铁电薄膜进行了择优取向和应力分析,研究了自缓冲层影响择优取向和应力的机理.3片BIT薄膜的内应力均为张应力,并随着(200)峰与(117)峰相对强度的增强而变小,结果表明:a轴择优的BIT薄膜性能最好.
鐵電薄膜的性能與薄膜的擇優取嚮和應力有密切的聯繫.採用X射線衍射( XRD)對3片不同自緩遲層條件下的Bi4Ti3O12(B1T)鐵電薄膜進行瞭擇優取嚮和應力分析,研究瞭自緩遲層影響擇優取嚮和應力的機理.3片BIT薄膜的內應力均為張應力,併隨著(200)峰與(117)峰相對彊度的增彊而變小,結果錶明:a軸擇優的BIT薄膜性能最好.
철전박막적성능여박막적택우취향화응력유밀절적련계.채용X사선연사( XRD)대3편불동자완충층조건하적Bi4Ti3O12(B1T)철전박막진행료택우취향화응력분석,연구료자완충층영향택우취향화응력적궤리.3편BIT박막적내응력균위장응력,병수착(200)봉여(117)봉상대강도적증강이변소,결과표명:a축택우적BIT박막성능최호.
