功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2009年
4期
560-563
,共4页
蒋平%吴雪梅%诸葛兰剑%吴兆丰
蔣平%吳雪梅%諸葛蘭劍%吳兆豐
장평%오설매%제갈란검%오조봉
射频磁控溅射%ZnO薄膜%透射率%光学带隙%PL谱
射頻磁控濺射%ZnO薄膜%透射率%光學帶隙%PL譜
사빈자공천사%ZnO박막%투사솔%광학대극%PL보
采用CS-400型射频磁控溅射仪在Si(111)和石英基底上成功的制备了ZnO薄膜,分别用XRD、SEM、紫外-可见光分光光度计和荧光分光光度计表征样品的结构和光学性质.实验表明,采用射频磁控溅射制备的ZnO薄膜具有六角纤锌矿结构的(002)峰和(101)峰的两种取向.在沉积气压>1.0Pa时所制备的ZnO薄膜具有(002)择优取向,并且十分稳定.SEM图表明,ZnO薄膜颗粒大小较为均匀,晶粒尺寸随着气压升高而变小,沉积气压不同时,薄膜样品的生长方式有所差异.在400～1000nm范围内,可以看出除O.5Pa下制备的ZnO薄膜外,其余ZnO薄膜在可见光区域的平均透过率超过80%,吸收边在380nm附近,所对应的光学带隙约为3.23～3.27eV,并随着沉积气压上升而变大.ZnO薄膜的PL谱上观察到了392nm的近紫外峰和419nm的蓝峰;沉积气压对Zno薄膜的发光峰位和峰强有影响.
採用CS-400型射頻磁控濺射儀在Si(111)和石英基底上成功的製備瞭ZnO薄膜,分彆用XRD、SEM、紫外-可見光分光光度計和熒光分光光度計錶徵樣品的結構和光學性質.實驗錶明,採用射頻磁控濺射製備的ZnO薄膜具有六角纖鋅礦結構的(002)峰和(101)峰的兩種取嚮.在沉積氣壓>1.0Pa時所製備的ZnO薄膜具有(002)擇優取嚮,併且十分穩定.SEM圖錶明,ZnO薄膜顆粒大小較為均勻,晶粒呎吋隨著氣壓升高而變小,沉積氣壓不同時,薄膜樣品的生長方式有所差異.在400～1000nm範圍內,可以看齣除O.5Pa下製備的ZnO薄膜外,其餘ZnO薄膜在可見光區域的平均透過率超過80%,吸收邊在380nm附近,所對應的光學帶隙約為3.23～3.27eV,併隨著沉積氣壓上升而變大.ZnO薄膜的PL譜上觀察到瞭392nm的近紫外峰和419nm的藍峰;沉積氣壓對Zno薄膜的髮光峰位和峰彊有影響.
채용CS-400형사빈자공천사의재Si(111)화석영기저상성공적제비료ZnO박막,분별용XRD、SEM、자외-가견광분광광도계화형광분광광도계표정양품적결구화광학성질.실험표명,채용사빈자공천사제비적ZnO박막구유륙각섬자광결구적(002)봉화(101)봉적량충취향.재침적기압>1.0Pa시소제비적ZnO박막구유(002)택우취향,병차십분은정.SEM도표명,ZnO박막과립대소교위균균,정립척촌수착기압승고이변소,침적기압불동시,박막양품적생장방식유소차이.재400～1000nm범위내,가이간출제O.5Pa하제비적ZnO박막외,기여ZnO박막재가견광구역적평균투과솔초과80%,흡수변재380nm부근,소대응적광학대극약위3.23～3.27eV,병수착침적기압상승이변대.ZnO박막적PL보상관찰도료392nm적근자외봉화419nm적람봉;침적기압대Zno박막적발광봉위화봉강유영향.
