真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2010年
6期
59-60,63
,共3页
数字PID%真空离子镀膜%可编程逻辑控制器%结构化编程
數字PID%真空離子鍍膜%可編程邏輯控製器%結構化編程
수자PID%진공리자도막%가편정라집공제기%결구화편정
介绍了数字PID(比例-积分-微分)控制算法在多功能真空离子镀膜设备中的应用,并利用三菱Q系列PLC(可编程逻辑控制器)丰富的结构化编程功能和数字PID控制算法的运用,实现对5路气体的输出控制;在本应用中,根据工艺参数表的设定,PLC实时计算出所需气体的输出量并控制其输出,实现自动调节工艺气体的进气量,以达到稳定镀膜室气体压力的目的,保证气体放电条件,提高镀膜层质量.
介紹瞭數字PID(比例-積分-微分)控製算法在多功能真空離子鍍膜設備中的應用,併利用三蔆Q繫列PLC(可編程邏輯控製器)豐富的結構化編程功能和數字PID控製算法的運用,實現對5路氣體的輸齣控製;在本應用中,根據工藝參數錶的設定,PLC實時計算齣所需氣體的輸齣量併控製其輸齣,實現自動調節工藝氣體的進氣量,以達到穩定鍍膜室氣體壓力的目的,保證氣體放電條件,提高鍍膜層質量.
개소료수자PID(비례-적분-미분)공제산법재다공능진공리자도막설비중적응용,병이용삼릉Q계렬PLC(가편정라집공제기)봉부적결구화편정공능화수자PID공제산법적운용,실현대5로기체적수출공제;재본응용중,근거공예삼수표적설정,PLC실시계산출소수기체적수출량병공제기수출,실현자동조절공예기체적진기량,이체도은정도막실기체압력적목적,보증기체방전조건,제고도막층질량.
