现代化工
現代化工
현대화공
MODERN CHEMICAL INDUSTRY
2012年
6期
34-38
,共5页
张妙鹤%唐安江%汤正河%宗原%窦仕川
張妙鶴%唐安江%湯正河%宗原%竇仕川
장묘학%당안강%탕정하%종원%두사천
四氯化硅%四氟化硅%物化性质%合成工艺%精制工艺
四氯化硅%四氟化硅%物化性質%閤成工藝%精製工藝
사록화규%사불화규%물화성질%합성공예%정제공예
SiCl4主要是作为改良西门子法生产多晶硅的副产物得到,SiF4主要是作为磷肥工业的副产物氟硅酸分解得到,但是二者纯度都不能满足生产多晶硅的要求,需进行分离纯化得到高纯物质.本文针对SiCl4和SiF4的物化性质、合成工艺、精制方法、应用前景等方面做了探讨和比较,指出SF4比SiCl4更具应用前景.
SiCl4主要是作為改良西門子法生產多晶硅的副產物得到,SiF4主要是作為燐肥工業的副產物氟硅痠分解得到,但是二者純度都不能滿足生產多晶硅的要求,需進行分離純化得到高純物質.本文針對SiCl4和SiF4的物化性質、閤成工藝、精製方法、應用前景等方麵做瞭探討和比較,指齣SF4比SiCl4更具應用前景.
SiCl4주요시작위개량서문자법생산다정규적부산물득도,SiF4주요시작위린비공업적부산물불규산분해득도,단시이자순도도불능만족생산다정규적요구,수진행분리순화득도고순물질.본문침대SiCl4화SiF4적물화성질、합성공예、정제방법、응용전경등방면주료탐토화비교,지출SF4비SiCl4경구응용전경.
