光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
6期
873-877
,共5页
赵宏伟%吴博达%华顺明%杨志刚%程光明%曲兴田
趙宏偉%吳博達%華順明%楊誌剛%程光明%麯興田
조굉위%오박체%화순명%양지강%정광명%곡흥전
压电驱动器%尺蠖运动%精密定位%直线运动%动态特性
壓電驅動器%呎蠖運動%精密定位%直線運動%動態特性
압전구동기%척확운동%정밀정위%직선운동%동태특성
分析了尺蠖型压电直线驱动器的结构原理,建立了驱动器系统动力学模型.对驱动器定子进行了模态分析,并对分析结果进行了评价.对设计开发的驱动器样机输出特性进行了试验测试,实验测得驱动器单步输出位移稳定可靠,100 V驱动电压下,单步输出位移为9.8 μm.对驱动器直线动子的速度、加速度特性进行了测试,依据速度、加速度信号进一步分析了驱动器的动态响应特性.实验结果表明,所开发的驱动器具有动态特性好、运动稳定等优点.
分析瞭呎蠖型壓電直線驅動器的結構原理,建立瞭驅動器繫統動力學模型.對驅動器定子進行瞭模態分析,併對分析結果進行瞭評價.對設計開髮的驅動器樣機輸齣特性進行瞭試驗測試,實驗測得驅動器單步輸齣位移穩定可靠,100 V驅動電壓下,單步輸齣位移為9.8 μm.對驅動器直線動子的速度、加速度特性進行瞭測試,依據速度、加速度信號進一步分析瞭驅動器的動態響應特性.實驗結果錶明,所開髮的驅動器具有動態特性好、運動穩定等優點.
분석료척확형압전직선구동기적결구원리,건립료구동기계통동역학모형.대구동기정자진행료모태분석,병대분석결과진행료평개.대설계개발적구동기양궤수출특성진행료시험측시,실험측득구동기단보수출위이은정가고,100 V구동전압하,단보수출위이위9.8 μm.대구동기직선동자적속도、가속도특성진행료측시,의거속도、가속도신호진일보분석료구동기적동태향응특성.실험결과표명,소개발적구동기구유동태특성호、운동은정등우점.
