真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
3期
302-305
,共4页
姜丽莉%辛艳青%宋淑梅%杨田林%李延辉%韩圣浩
薑麗莉%辛豔青%宋淑梅%楊田林%李延輝%韓聖浩
강려리%신염청%송숙매%양전림%리연휘%한골호
快速退火%直流磁控溅射%AZO薄膜%光电特性%禁带宽度
快速退火%直流磁控濺射%AZO薄膜%光電特性%禁帶寬度
쾌속퇴화%직류자공천사%AZO박막%광전특성%금대관도
在室温下,采用直流磁控溅射方法制备了不同厚度的氧化锌掺铝薄膜,并对样品进行了快速退火处理,退火温度为600℃,时间为60 s.研究了退火前后薄膜的结构、光电特性的变化情况.退火后,薄膜的最小电阻率为4.2×10-4 Ω·cm,其透过率为90.1%.禁带宽度由退火前的3.68 eV变为3.75 eV.
在室溫下,採用直流磁控濺射方法製備瞭不同厚度的氧化鋅摻鋁薄膜,併對樣品進行瞭快速退火處理,退火溫度為600℃,時間為60 s.研究瞭退火前後薄膜的結構、光電特性的變化情況.退火後,薄膜的最小電阻率為4.2×10-4 Ω·cm,其透過率為90.1%.禁帶寬度由退火前的3.68 eV變為3.75 eV.
재실온하,채용직류자공천사방법제비료불동후도적양화자참려박막,병대양품진행료쾌속퇴화처리,퇴화온도위600℃,시간위60 s.연구료퇴화전후박막적결구、광전특성적변화정황.퇴화후,박막적최소전조솔위4.2×10-4 Ω·cm,기투과솔위90.1%.금대관도유퇴화전적3.68 eV변위3.75 eV.
