电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2010年
5期
430-436
,共7页
仇满德%秦向东%白国义%翟永清%姚子华
仇滿德%秦嚮東%白國義%翟永清%姚子華
구만덕%진향동%백국의%적영청%요자화
出射角%外全反射%SEM-EDS%X射线强度%薄膜
齣射角%外全反射%SEM-EDS%X射線彊度%薄膜
출사각%외전반사%SEM-EDS%X사선강도%박막
利用SEM-EDS研究了硅衬底上Au、Cu薄膜发射的不同线系特征X射线相对强度间比值随出射角的变化规律,探讨了影响其变化的原因.结果显示:随着出射角变大,同一元素不同线系X射线相对强度间比值具有一定变化规律.低能量谱线的强度相对高能量谱线逐渐变大,这种变化主要是受X射线被基体吸收效应的影响所致.在低角度下,特别是在特征X射线全反射临界角附近,实际测得的低能量特征谱线的相对强度比预期要小,这是因为这些低能量谱线的波长较长,相对于这些谱线的全反射临界角较大,由膜内产生的低能量谱线,探测器无法探测到而引起.此项研究为X射线薄膜微区分析的定量计算提供依据.
利用SEM-EDS研究瞭硅襯底上Au、Cu薄膜髮射的不同線繫特徵X射線相對彊度間比值隨齣射角的變化規律,探討瞭影響其變化的原因.結果顯示:隨著齣射角變大,同一元素不同線繫X射線相對彊度間比值具有一定變化規律.低能量譜線的彊度相對高能量譜線逐漸變大,這種變化主要是受X射線被基體吸收效應的影響所緻.在低角度下,特彆是在特徵X射線全反射臨界角附近,實際測得的低能量特徵譜線的相對彊度比預期要小,這是因為這些低能量譜線的波長較長,相對于這些譜線的全反射臨界角較大,由膜內產生的低能量譜線,探測器無法探測到而引起.此項研究為X射線薄膜微區分析的定量計算提供依據.
이용SEM-EDS연구료규츤저상Au、Cu박막발사적불동선계특정X사선상대강도간비치수출사각적변화규률,탐토료영향기변화적원인.결과현시:수착출사각변대,동일원소불동선계X사선상대강도간비치구유일정변화규률.저능량보선적강도상대고능량보선축점변대,저충변화주요시수X사선피기체흡수효응적영향소치.재저각도하,특별시재특정X사선전반사림계각부근,실제측득적저능량특정보선적상대강도비예기요소,저시인위저사저능량보선적파장교장,상대우저사보선적전반사림계각교대,유막내산생적저능량보선,탐측기무법탐측도이인기.차항연구위X사선박막미구분석적정량계산제공의거.
