光散射学报
光散射學報
광산사학보
CHINESE JOURNAL OF LIGHT SCATTERING
2010年
4期
395-398
,共4页
杨沁玉%王德信%丁可%张菁%王庆瑞
楊沁玉%王德信%丁可%張菁%王慶瑞
양심옥%왕덕신%정가%장정%왕경서
多孔氧化硅薄膜%阴极射线谱%红外光谱%X射线衍射
多孔氧化硅薄膜%陰極射線譜%紅外光譜%X射線衍射
다공양화규박막%음겁사선보%홍외광보%X사선연사
采用近常压下等离子体增强化学气相沉积的方法制备得到多孔氧化硅薄膜,并在沉积区域加载偏压对薄膜形貌和性质进行调制.扫描电镜显示偏压条件下沉积的薄膜更加蓬松多孔,常温下阴极射线谱表明:增大偏压的占空比,CL谱中发光峰的位置并不改变,但谱线强度增大.发光峰的位置说明薄膜中的主要成分是Si-O-Si基团,且该种基团以非桥键的形式存在,薄膜中还存在少量的Si-H键,这与红外光谱测试结果一致.X射线衍射结果表明薄膜中的SiO2是非晶态的.
採用近常壓下等離子體增彊化學氣相沉積的方法製備得到多孔氧化硅薄膜,併在沉積區域加載偏壓對薄膜形貌和性質進行調製.掃描電鏡顯示偏壓條件下沉積的薄膜更加蓬鬆多孔,常溫下陰極射線譜錶明:增大偏壓的佔空比,CL譜中髮光峰的位置併不改變,但譜線彊度增大.髮光峰的位置說明薄膜中的主要成分是Si-O-Si基糰,且該種基糰以非橋鍵的形式存在,薄膜中還存在少量的Si-H鍵,這與紅外光譜測試結果一緻.X射線衍射結果錶明薄膜中的SiO2是非晶態的.
채용근상압하등리자체증강화학기상침적적방법제비득도다공양화규박막,병재침적구역가재편압대박막형모화성질진행조제.소묘전경현시편압조건하침적적박막경가봉송다공,상온하음겁사선보표명:증대편압적점공비,CL보중발광봉적위치병불개변,단보선강도증대.발광봉적위치설명박막중적주요성분시Si-O-Si기단,차해충기단이비교건적형식존재,박막중환존재소량적Si-H건,저여홍외광보측시결과일치.X사선연사결과표명박막중적SiO2시비정태적.
