光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
4期
828-835
,共8页
超精密测量%表面形貌测量%原子力探针扫描%白光干涉
超精密測量%錶麵形貌測量%原子力探針掃描%白光榦涉
초정밀측량%표면형모측량%원자력탐침소묘%백광간섭
研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪.分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式.研制了三维精密位移系统和基于白光显微干涉的原子力探针测头.采用原子力探针扫描测量对NT-MDT公司生产的扫描探针校准光栅TGZ2_PTB进行了重复性实验,实验显示标准差为0.96 nm,相对重复性误差为3.08%.给出了原子力探针扫描测量、相移干涉测量及白光干涉垂直扫描测量的测量实例.实验结果表明,所研制的超精密表面形貌测量仪可用于超精密加工工程表面、光学表面以及微纳几何结构的测量.
研製瞭基于同一顯微鏡基體實現原子力探針掃描測量與非接觸光學測量兩種功能的複閤型超精密錶麵形貌測量儀.分析瞭基于白光顯微榦涉原子力探針的測量方法、探針微懸臂變形量與白光榦涉條紋移動量的關繫以及探針微懸臂測量非線性誤差的脩正方法,和通過融閤垂直掃描繫統的位移量和懸臂樑變形量得到瞭原子力探針的工作方式.研製瞭三維精密位移繫統和基于白光顯微榦涉的原子力探針測頭.採用原子力探針掃描測量對NT-MDT公司生產的掃描探針校準光柵TGZ2_PTB進行瞭重複性實驗,實驗顯示標準差為0.96 nm,相對重複性誤差為3.08%.給齣瞭原子力探針掃描測量、相移榦涉測量及白光榦涉垂直掃描測量的測量實例.實驗結果錶明,所研製的超精密錶麵形貌測量儀可用于超精密加工工程錶麵、光學錶麵以及微納幾何結構的測量.
연제료기우동일현미경기체실현원자력탐침소묘측량여비접촉광학측량량충공능적복합형초정밀표면형모측량의.분석료기우백광현미간섭원자력탐침적측량방법、탐침미현비변형량여백광간섭조문이동량적관계이급탐침미현비측량비선성오차적수정방법,화통과융합수직소묘계통적위이량화현비량변형량득도료원자력탐침적공작방식.연제료삼유정밀위이계통화기우백광현미간섭적원자력탐침측두.채용원자력탐침소묘측량대NT-MDT공사생산적소묘탐침교준광책TGZ2_PTB진행료중복성실험,실험현시표준차위0.96 nm,상대중복성오차위3.08%.급출료원자력탐침소묘측량、상이간섭측량급백광간섭수직소묘측량적측량실례.실험결과표명,소연제적초정밀표면형모측량의가용우초정밀가공공정표면、광학표면이급미납궤하결구적측량.
