计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2010年
z2期
161-164
,共4页
杨波%常素萍%潘文%谢铁邦
楊波%常素萍%潘文%謝鐵邦
양파%상소평%반문%사철방
计量学%位移传感器%可控测量力%音圈电机%迈克尔逊干涉%误差补偿
計量學%位移傳感器%可控測量力%音圈電機%邁剋爾遜榦涉%誤差補償
계량학%위이전감기%가공측량력%음권전궤%매극이손간섭%오차보상
利用音圈电机控制测量过程中测量力的方法,提出了一种可控测量力的激光干涉位移传感器,介绍了传感器的结构及其测量原理.通过对测杆的受力情况进行分析可知,改变音圈电机的驱动电流可以很好地控制触针作用于样品表面测量力大小.分析测杆的运动模型,得出测杆转动会带来水平测量误差,提出了相应的误差补偿方法.使用该传感器对倾斜放置的样品进行了测量,结果表明,该传感器在大量程范围内能实现高精度的表面形貌测量,并有效的控制测量力,减小对测量表面的划伤.
利用音圈電機控製測量過程中測量力的方法,提齣瞭一種可控測量力的激光榦涉位移傳感器,介紹瞭傳感器的結構及其測量原理.通過對測桿的受力情況進行分析可知,改變音圈電機的驅動電流可以很好地控製觸針作用于樣品錶麵測量力大小.分析測桿的運動模型,得齣測桿轉動會帶來水平測量誤差,提齣瞭相應的誤差補償方法.使用該傳感器對傾斜放置的樣品進行瞭測量,結果錶明,該傳感器在大量程範圍內能實現高精度的錶麵形貌測量,併有效的控製測量力,減小對測量錶麵的劃傷.
이용음권전궤공제측량과정중측량력적방법,제출료일충가공측량력적격광간섭위이전감기,개소료전감기적결구급기측량원리.통과대측간적수력정황진행분석가지,개변음권전궤적구동전류가이흔호지공제촉침작용우양품표면측량력대소.분석측간적운동모형,득출측간전동회대래수평측량오차,제출료상응적오차보상방법.사용해전감기대경사방치적양품진행료측량,결과표명,해전감기재대량정범위내능실현고정도적표면형모측량,병유효적공제측량력,감소대측량표면적화상.
