物理
物理
물리
2006年
1期
51-55
,共5页
纳米光电子器件%电子束光刻%电感耦合等离子体刻蚀%量子点器件%光子晶体
納米光電子器件%電子束光刻%電感耦閤等離子體刻蝕%量子點器件%光子晶體
납미광전자기건%전자속광각%전감우합등리자체각식%양자점기건%광자정체
纳米光电子器件正在成为下一代光电子器件的核心.文章介绍了电子束光刻和电感耦合等离子体刻蚀为代表的微纳加工技术在光电子学器件中的应用,主要包括量子点激光器、量子点THz探测器和光子晶体器件.
納米光電子器件正在成為下一代光電子器件的覈心.文章介紹瞭電子束光刻和電感耦閤等離子體刻蝕為代錶的微納加工技術在光電子學器件中的應用,主要包括量子點激光器、量子點THz探測器和光子晶體器件.
납미광전자기건정재성위하일대광전자기건적핵심.문장개소료전자속광각화전감우합등리자체각식위대표적미납가공기술재광전자학기건중적응용,주요포괄양자점격광기、양자점THz탐측기화광자정체기건.
