传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2007年
7期
1475-1478
,共4页
蒸汽传感%多孔硅微腔%Bruggeman介电常数近似%传输矩阵%数值模拟
蒸汽傳感%多孔硅微腔%Bruggeman介電常數近似%傳輸矩陣%數值模擬
증기전감%다공규미강%Bruggeman개전상수근사%전수구진%수치모의
利用Bruggeman介电常数近似理论,毛细冷凝作用以及一维光子晶体传输矩阵的理论分析方法,对多孔硅微腔被一定浓度的有机物蒸汽吸附时的传感特性进行了深入地研究,建立了其光学传感模型,并用计算机数值模拟的方法对多孔硅微腔的传感模型进行了理论仿真,得出了饱和情况下有机物蒸汽折射率与峰位漂移量间的线性关系以及乙醇蒸汽浓度与微腔反射谱透射峰峰位漂移量间的函数关系曲线,为多孔硅微腔传感元件的设计和应用提供了理论基础.
利用Bruggeman介電常數近似理論,毛細冷凝作用以及一維光子晶體傳輸矩陣的理論分析方法,對多孔硅微腔被一定濃度的有機物蒸汽吸附時的傳感特性進行瞭深入地研究,建立瞭其光學傳感模型,併用計算機數值模擬的方法對多孔硅微腔的傳感模型進行瞭理論倣真,得齣瞭飽和情況下有機物蒸汽摺射率與峰位漂移量間的線性關繫以及乙醇蒸汽濃度與微腔反射譜透射峰峰位漂移量間的函數關繫麯線,為多孔硅微腔傳感元件的設計和應用提供瞭理論基礎.
이용Bruggeman개전상수근사이론,모세냉응작용이급일유광자정체전수구진적이론분석방법,대다공규미강피일정농도적유궤물증기흡부시적전감특성진행료심입지연구,건립료기광학전감모형,병용계산궤수치모의적방법대다공규미강적전감모형진행료이론방진,득출료포화정황하유궤물증기절사솔여봉위표이량간적선성관계이급을순증기농도여미강반사보투사봉봉위표이량간적함수관계곡선,위다공규미강전감원건적설계화응용제공료이론기출.