MEMS器件常用微弱信号检测技术研究
MEMS기건상용미약신호검측기술연구
Research of Detect Technology of Common Weak Signal in MEMS Devices
  • 万方数据
    仪表技术 의표기술

    2010年 2期 49-51,54 ,共4页

    杜晓强%吴柯锐

    두효강%오가예

    MEMS%微弱信号检测%方法%电路 MEMS%微弱信號檢測%方法%電路
    MEMS%미약신호검측%방법%전로
    文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍.针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析,并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路.
    문장침대미궤계(MEMS)기건중상용적미약신호검측기술진행료간단적개소.침대MEMS기건중미약신호검측소사용적이론방법진행료총결분석,병제출료일사전형、실용적MEMS미약신호검측전로.
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