电力电子技术
電力電子技術
전력전자기술
POWER ELECTRONICS
2010年
11期
93-95
,共3页
电源%处理器%电弧管理%非平衡磁控溅射
電源%處理器%電弧管理%非平衡磁控濺射
전원%처리기%전호관리%비평형자공천사
研制了一台以NiosⅡ嵌入式处理器为核心的非平衡磁控溅射(Unbalanced Magnetron Sputtering,简称UMS)高性能电源.采用片上可编程系统(System on a Programmable Chip,简称SOPC)的解决方案,结合嵌入式系统的优势,加入智能化复合控制策略和高频DPWM多自由度调制方法,以满足等离子体负载特性及工艺需求.测试结果表明,该电源具备高稳流、高离子束电流多自由度输出特性以及优异的电弧管理能力,为UMS先进工艺的探索提供了良好的技术平台.
研製瞭一檯以NiosⅡ嵌入式處理器為覈心的非平衡磁控濺射(Unbalanced Magnetron Sputtering,簡稱UMS)高性能電源.採用片上可編程繫統(System on a Programmable Chip,簡稱SOPC)的解決方案,結閤嵌入式繫統的優勢,加入智能化複閤控製策略和高頻DPWM多自由度調製方法,以滿足等離子體負載特性及工藝需求.測試結果錶明,該電源具備高穩流、高離子束電流多自由度輸齣特性以及優異的電弧管理能力,為UMS先進工藝的探索提供瞭良好的技術平檯.
연제료일태이NiosⅡ감입식처리기위핵심적비평형자공천사(Unbalanced Magnetron Sputtering,간칭UMS)고성능전원.채용편상가편정계통(System on a Programmable Chip,간칭SOPC)적해결방안,결합감입식계통적우세,가입지능화복합공제책략화고빈DPWM다자유도조제방법,이만족등리자체부재특성급공예수구.측시결과표명,해전원구비고은류、고리자속전류다자유도수출특성이급우이적전호관리능력,위UMS선진공예적탐색제공료량호적기술평태.
