强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
5期
1143-1146
,共4页
王庆胜%余吟山%王效顺%游利兵%梁勖%李会%方晓东
王慶勝%餘吟山%王效順%遊利兵%樑勗%李會%方曉東
왕경성%여음산%왕효순%유리병%량욱%리회%방효동
准分子激光器%XeF%开关电源%i线%印刷电路板
準分子激光器%XeF%開關電源%i線%印刷電路闆
준분자격광기%XeF%개관전원%i선%인쇄전로판
研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光器输出参数:单脉冲能量153 mJ,平均功率12.9 W,转换效率最高达到0.88%,重复频率1～80 Hz,能量不稳定度小于4%,近场光斑尺寸7 mm×22 mm.激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统的实验中.
研製瞭一檯實用型放電泵浦的351 nm XeF(B-X)準分子激光器,激光器採用新型開關電源、結構緊湊型張氏電極及放電火花預電離的激光腔結構,通過優化儲能電容和放電電容量及比值,選取閤理的工作氣體壓力和配比,優化瞭激光器性能,提高瞭激光器輸齣參數:單脈遲能量153 mJ,平均功率12.9 W,轉換效率最高達到0.88%,重複頻率1～80 Hz,能量不穩定度小于4%,近場光斑呎吋7 mm×22 mm.激光器已應用到常規抗蝕劑曝光的印刷電路闆(PCB)激光投影成像照明繫統的實驗中.
연제료일태실용형방전빙포적351 nm XeF(B-X)준분자격광기,격광기채용신형개관전원、결구긴주형장씨전겁급방전화화예전리적격광강결구,통과우화저능전용화방전전용량급비치,선취합리적공작기체압력화배비,우화료격광기성능,제고료격광기수출삼수:단맥충능량153 mJ,평균공솔12.9 W,전환효솔최고체도0.88%,중복빈솔1～80 Hz,능량불은정도소우4%,근장광반척촌7 mm×22 mm.격광기이응용도상규항식제폭광적인쇄전로판(PCB)격광투영성상조명계통적실험중.
