CAJ | 학술논문

为了制备电子级磷酸,采用了悬浮结晶法对工业磷酸进行提纯.分析了结晶法提纯工业磷酸的原理,并基于结晶过程中杂质的有效分配系数对多次结晶后杂质的分布建立了晶体纯度预测模型,同时考察了酸浓度、结晶次数和磷酸原料杂质初始含量对磷酸提纯效果的影响.研究结果表明,采用结晶法提纯磷酸具有良好的效果,能有效地脱除所考察的五种杂质(Li、Mg、Al、Cr、Mn);以一次晶体为原料,在磷酸浓度为84％的条件下,经过3次结晶,和在磷酸浓度为88％的条件下,经过4次结晶,均可以达到美国典型半导体磷酸要求.所建立的晶体纯度预测模型能很好地预测杂质浓度随结晶次数的变化.
위료제비전자급린산,채용료현부결정법대공업린산진행제순.분석료결정법제순공업린산적원리,병기우결정과정중잡질적유효분배계수대다차결정후잡질적분포건립료정체순도예측모형,동시고찰료산농도、결정차수화린산원료잡질초시함량대린산제순효과적영향.연구결과표명,채용결정법제순린산구유량호적효과,능유효지탈제소고찰적오충잡질(Li、Mg、Al、Cr、Mn);이일차정체위원료,재린산농도위84％적조건하,경과3차결정,화재린산농도위88％적조건하,경과4차결정,균가이체도미국전형반도체린산요구.소건립적정체순도예측모형능흔호지예측잡질농도수결정차수적변화.