红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2000年
2期
89-92
,共4页
陈伯良%陆蔚%王正官%杨华%汪辉
陳伯良%陸蔚%王正官%楊華%汪輝
진백량%륙위%왕정관%양화%왕휘
红外焦平面列阵%InSb%微探针%性能表征
紅外焦平麵列陣%InSb%微探針%性能錶徵
홍외초평면렬진%InSb%미탐침%성능표정
用改进的恒压微探针方法,对64×64元 InSb 凝视红外焦平面器件光伏探测器列阵芯片的性能进行了抽样检测和均匀性评价.测得典型64×64元 InSb 芯片的探测器平均零偏阻抗为42MΩ(90K),非均匀性为20%;平均1000K黑体响应率为2.8A/W,非均匀性为6.3%;电学串音率＜2%.讨论了性能异常芯片上存在的局部电学串音现象.
用改進的恆壓微探針方法,對64×64元 InSb 凝視紅外焦平麵器件光伏探測器列陣芯片的性能進行瞭抽樣檢測和均勻性評價.測得典型64×64元 InSb 芯片的探測器平均零偏阻抗為42MΩ(90K),非均勻性為20%;平均1000K黑體響應率為2.8A/W,非均勻性為6.3%;電學串音率＜2%.討論瞭性能異常芯片上存在的跼部電學串音現象.
용개진적항압미탐침방법,대64×64원 InSb 응시홍외초평면기건광복탐측기렬진심편적성능진행료추양검측화균균성평개.측득전형64×64원 InSb 심편적탐측기평균령편조항위42MΩ(90K),비균균성위20%;평균1000K흑체향응솔위2.8A/W,비균균성위6.3%;전학천음솔＜2%.토론료성능이상심편상존재적국부전학천음현상.
