金属热处理
金屬熱處理
금속열처리
HEAT TREATMENT OF METALS
2004年
12期
20-22
,共3页
潘应君%陈淑花%张细菊%吴新杰
潘應君%陳淑花%張細菊%吳新傑
반응군%진숙화%장세국%오신걸
等离子体化学气相沉积%AlN薄膜%不锈钢%耐蚀性
等離子體化學氣相沉積%AlN薄膜%不鏽鋼%耐蝕性
등리자체화학기상침적%AlN박막%불수강%내식성
采用等离子体化学气相沉积(PCVD)技术,以AlCl3作铝源在1Cr18Ni9不锈钢表面沉积AlN薄膜,探讨了不同沉积时间和温度对薄膜硬度的影响,并对AlN薄膜的耐蚀性进行了研究.试验结果表明,经500～550℃沉积4h,可以在不锈钢表面得到组织致密的AlN薄膜,其显微硬度最高可达1750HV0.025,在HCl溶液中的耐蚀性超过未镀膜的1Cr18Ni9不锈钢.
採用等離子體化學氣相沉積(PCVD)技術,以AlCl3作鋁源在1Cr18Ni9不鏽鋼錶麵沉積AlN薄膜,探討瞭不同沉積時間和溫度對薄膜硬度的影響,併對AlN薄膜的耐蝕性進行瞭研究.試驗結果錶明,經500～550℃沉積4h,可以在不鏽鋼錶麵得到組織緻密的AlN薄膜,其顯微硬度最高可達1750HV0.025,在HCl溶液中的耐蝕性超過未鍍膜的1Cr18Ni9不鏽鋼.
채용등리자체화학기상침적(PCVD)기술,이AlCl3작려원재1Cr18Ni9불수강표면침적AlN박막,탐토료불동침적시간화온도대박막경도적영향,병대AlN박막적내식성진행료연구.시험결과표명,경500～550℃침적4h,가이재불수강표면득도조직치밀적AlN박막,기현미경도최고가체1750HV0.025,재HCl용액중적내식성초과미도막적1Cr18Ni9불수강.
