真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
3期
222-224,237
,共4页
赵方红%庄大明%张弓%查杉
趙方紅%莊大明%張弓%查杉
조방홍%장대명%장궁%사삼
磁控溅射%ZGO薄膜%溅射功率密度%电阻率%透过率
磁控濺射%ZGO薄膜%濺射功率密度%電阻率%透過率
자공천사%ZGO박막%천사공솔밀도%전조솔%투과솔
利用中频磁控溅射方法,溅射Ga2O3含量为6.7wt%的氧化锌镓陶瓷靶材,在低温下(约40℃)制备了ZGO薄膜.考察了溅射功率密度对ZGO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响.结果表明:溅射功率密度对薄膜的结构、红外反射以及导电性能有较大影响.当溅射功率密度为3.58W/cm2,氩气压力为0.8Pa时,薄膜的电阻率低达1.5×10-3Ω·cm,方块电阻为23Ω时,可见光(λ＝400nm～800nm)平均透过率高于90%.
利用中頻磁控濺射方法,濺射Ga2O3含量為6.7wt%的氧化鋅鎵陶瓷靶材,在低溫下(約40℃)製備瞭ZGO薄膜.攷察瞭濺射功率密度對ZGO薄膜的晶體結構、電學和光學性能的影響.結果錶明:濺射功率密度對薄膜的結構、紅外反射以及導電性能有較大影響.噹濺射功率密度為3.58W/cm2,氬氣壓力為0.8Pa時,薄膜的電阻率低達1.5×10-3Ω·cm,方塊電阻為23Ω時,可見光(λ＝400nm～800nm)平均透過率高于90%.
이용중빈자공천사방법,천사Ga2O3함량위6.7wt%적양화자가도자파재,재저온하(약40℃)제비료ZGO박막.고찰료천사공솔밀도대ZGO박막적정체결구、전학화광학성능적영향.결과표명:천사공솔밀도대박막적결구、홍외반사이급도전성능유교대영향.당천사공솔밀도위3.58W/cm2,아기압력위0.8Pa시,박막적전조솔저체1.5×10-3Ω·cm,방괴전조위23Ω시,가견광(λ＝400nm～800nm)평균투과솔고우90%.
