真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
3期
247-250
,共4页
磁控溅射%金属薄膜%场发射扫描电子显微镜%空心微珠
磁控濺射%金屬薄膜%場髮射掃描電子顯微鏡%空心微珠
자공천사%금속박막%장발사소묘전자현미경%공심미주
本文论述了在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的方法.用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、能谱仪和X射线衍射仪对其进行了分析表征.溅射镀膜时,通过控制空心微珠的运动方式,在空心微珠表面沉积了一层均匀性好、附着力强和致密性好的金属镍膜.
本文論述瞭在空心微珠錶麵磁控濺射鍍金屬薄膜的方法.用光學顯微鏡、場髮射掃描電子顯微鏡、能譜儀和X射線衍射儀對其進行瞭分析錶徵.濺射鍍膜時,通過控製空心微珠的運動方式,在空心微珠錶麵沉積瞭一層均勻性好、附著力彊和緻密性好的金屬鎳膜.
본문논술료재공심미주표면자공천사도금속박막적방법.용광학현미경、장발사소묘전자현미경、능보의화X사선연사의대기진행료분석표정.천사도막시,통과공제공심미주적운동방식,재공심미주표면침적료일층균균성호、부착력강화치밀성호적금속얼막.
