物理化学学报
物理化學學報
물이화학학보
ACTA PHYSICO-CHIMICA SINICA
2006年
11期
1413-1418
,共6页
LiPON薄膜%薄膜电解质%磁控溅射%全固态薄膜锂电池
LiPON薄膜%薄膜電解質%磁控濺射%全固態薄膜鋰電池
LiPON박막%박막전해질%자공천사%전고태박막리전지
利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生明显的水解反应,使LiPON薄膜表面形貌变得疏松、局部突起;PH3和NH3的产生,使薄膜中磷元素和氮元素含量减少,而Li2CO3的生成,则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增加.LiPON电解质薄膜形貌和组成的变化,造成了薄膜电化学性能的严重恶化.
利用射頻(RF)磁控濺射方法製備瞭含氮燐痠鋰(LiPON)薄膜.採用SEM、XRD、XPS等技術以及交流阻抗法和電位線性掃描法,研究瞭空氣濕度對LiPON薄膜形貌、組成和性能的影響.結果錶明,LiPON薄膜在濕度為40%的空氣環境中放置24 h後,將髮生明顯的水解反應,使LiPON薄膜錶麵形貌變得疏鬆、跼部突起;PH3和NH3的產生,使薄膜中燐元素和氮元素含量減少,而Li2CO3的生成,則使薄膜中碳元素和氧元素含量有明顯的增加.LiPON電解質薄膜形貌和組成的變化,造成瞭薄膜電化學性能的嚴重噁化.
이용사빈(RF)자공천사방법제비료함담린산리(LiPON)박막.채용SEM、XRD、XPS등기술이급교류조항법화전위선성소묘법,연구료공기습도대LiPON박막형모、조성화성능적영향.결과표명,LiPON박막재습도위40%적공기배경중방치24 h후,장발생명현적수해반응,사LiPON박막표면형모변득소송、국부돌기;PH3화NH3적산생,사박막중린원소화담원소함량감소,이Li2CO3적생성,칙사박막중탄원소화양원소함량유명현적증가.LiPON전해질박막형모화조성적변화,조성료박막전화학성능적엄중악화.
