直流磁控溅射辉光等离子体的Langmuir静电探针诊断
직류자공천사휘광등리자체적Langmuir정전탐침진단
Langmuir Probe Diagnosis of DC Magnetron Sputtering Glow Discharge Plasma
  • 万方数据
    真空科学与技术学报 진공과학여기술학보
    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2008年 z1期 79-82 ,共4页

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    与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针.应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断.诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密度在径向和轴向均存在波动;电子能量主要分布在0 eV～5 eV范围内,高能电子占比例极少.
    여대련리공대학합작연제료신형Langmuir정전탐침.응용연제적정전탐침,대아기직류자공천사동등리자체진행료축향화경향이유공간내적진단.진단결과현시:전자온도수착리파면거리증대이체감;전자밀도재경향화축향균존재파동;전자능량주요분포재0 eV～5 eV범위내,고능전자점비례겁소.
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