人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
4期
895-900,907
,共7页
WANG Feng-ying%郭会斌%TANG Wei-zhong%吕反修
WANG Feng-ying%郭會斌%TANG Wei-zhong%呂反脩
WANG Feng-ying%곽회빈%TANG Wei-zhong%려반수
金刚石膜%微波等离子体%FDTD方法%数值模拟
金剛石膜%微波等離子體%FDTD方法%數值模擬
금강석막%미파등리자체%FDTD방법%수치모의
在使用简化的等离子体放电模型的基础上,模拟了圆柱形和椭球形谐振腔式微波等离子体金刚石膜沉积设备中,不同金刚石膜生长条件下微波等离子体的分布状态.对不同的微波输入功率、不同气体压力条件下,两种谐振腔式设备中形成的等离子体分布的变化规律进行了模拟.模拟结果表明,椭球形谐振腔的质量因子要高于圆柱形谐振腔;并且,椭球形谐振腔更适合用于高功率、高压力的金刚石膜沉积环境.这意味着,使用椭球形谐振腔,可获得更高的金刚石膜生长速率.
在使用簡化的等離子體放電模型的基礎上,模擬瞭圓柱形和橢毬形諧振腔式微波等離子體金剛石膜沉積設備中,不同金剛石膜生長條件下微波等離子體的分佈狀態.對不同的微波輸入功率、不同氣體壓力條件下,兩種諧振腔式設備中形成的等離子體分佈的變化規律進行瞭模擬.模擬結果錶明,橢毬形諧振腔的質量因子要高于圓柱形諧振腔;併且,橢毬形諧振腔更適閤用于高功率、高壓力的金剛石膜沉積環境.這意味著,使用橢毬形諧振腔,可穫得更高的金剛石膜生長速率.
재사용간화적등리자체방전모형적기출상,모의료원주형화타구형해진강식미파등리자체금강석막침적설비중,불동금강석막생장조건하미파등리자체적분포상태.대불동적미파수입공솔、불동기체압력조건하,량충해진강식설비중형성적등리자체분포적변화규률진행료모의.모의결과표명,타구형해진강적질량인자요고우원주형해진강;병차,타구형해진강경괄합용우고공솔、고압력적금강석막침적배경.저의미착,사용타구형해진강,가획득경고적금강석막생장속솔.
