电子与封装
電子與封裝
전자여봉장
EIECTRONICS AND PACKAGING
2009年
9期
28-30,48
,共4页
结温%二次击穿电流%均匀放电%工艺%版图
結溫%二次擊穿電流%均勻放電%工藝%版圖
결온%이차격천전류%균균방전%공예%판도
静电损伤失效可能是热击穿(电流)造成的结或金属布线熔融失效,也可能是强电场(电压)诱发的介质失效,文章主要从电流热击穿方面探讨了静电触发时的ESD(Electro-Static-Discharge)保护结构的保护机理和失效机理以及工艺和版图上的应对措施.保护结构工作时的电流泄放能力决定了其保护能力,这种能力可以通过使泄放电流均匀、优化PN结特性等方面加强.电流泄放的均匀性可以在工艺版图上进行优化,结两侧浓度决定了结的耐受能力和结上的偏压,进而影响器件功耗.另外还提及了保护结构的负面影响以及工艺上的优化方案.
靜電損傷失效可能是熱擊穿(電流)造成的結或金屬佈線鎔融失效,也可能是彊電場(電壓)誘髮的介質失效,文章主要從電流熱擊穿方麵探討瞭靜電觸髮時的ESD(Electro-Static-Discharge)保護結構的保護機理和失效機理以及工藝和版圖上的應對措施.保護結構工作時的電流洩放能力決定瞭其保護能力,這種能力可以通過使洩放電流均勻、優化PN結特性等方麵加彊.電流洩放的均勻性可以在工藝版圖上進行優化,結兩側濃度決定瞭結的耐受能力和結上的偏壓,進而影響器件功耗.另外還提及瞭保護結構的負麵影響以及工藝上的優化方案.
정전손상실효가능시열격천(전류)조성적결혹금속포선용융실효,야가능시강전장(전압)유발적개질실효,문장주요종전류열격천방면탐토료정전촉발시적ESD(Electro-Static-Discharge)보호결구적보호궤리화실효궤리이급공예화판도상적응대조시.보호결구공작시적전류설방능력결정료기보호능력,저충능력가이통과사설방전류균균、우화PN결특성등방면가강.전류설방적균균성가이재공예판도상진행우화,결량측농도결정료결적내수능력화결상적편압,진이영향기건공모.령외환제급료보호결구적부면영향이급공예상적우화방안.
