稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2010年
5期
867-870
,共4页
何鹏%颜家振%黄婉霞%张月%罗蓉蓉%蔡靖涵
何鵬%顏傢振%黃婉霞%張月%囉蓉蓉%蔡靖涵
하붕%안가진%황완하%장월%라용용%채정함
升温速率%VO2薄膜%热致相变%光学性能
升溫速率%VO2薄膜%熱緻相變%光學性能
승온속솔%VO2박막%열치상변%광학성능
采用溶胶-凝胶法在云母(001)衬底表面制备氧化钒薄膜,然后通过高温退火获得VO2多晶膜.利用SEM、FTIR等手段,分析不同退火升温速率条件下所制备薄膜的微观形貌、光学性能和热致相变特性.结果表明:在退火升温速率为8 ℃/min时,所制备的VO2薄膜具有最优异的热致相变特性,相变温度为65 ℃,滞后温宽为10 ℃.
採用溶膠-凝膠法在雲母(001)襯底錶麵製備氧化釩薄膜,然後通過高溫退火穫得VO2多晶膜.利用SEM、FTIR等手段,分析不同退火升溫速率條件下所製備薄膜的微觀形貌、光學性能和熱緻相變特性.結果錶明:在退火升溫速率為8 ℃/min時,所製備的VO2薄膜具有最優異的熱緻相變特性,相變溫度為65 ℃,滯後溫寬為10 ℃.
채용용효-응효법재운모(001)츤저표면제비양화범박막,연후통과고온퇴화획득VO2다정막.이용SEM、FTIR등수단,분석불동퇴화승온속솔조건하소제비박막적미관형모、광학성능화열치상변특성.결과표명:재퇴화승온속솔위8 ℃/min시,소제비적VO2박막구유최우이적열치상변특성,상변온도위65 ℃,체후온관위10 ℃.
