江西师范大学学报（自然科学版）
江西師範大學學報（自然科學版）
강서사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIANGXI NORMAL UNIVERSITY（NATURAL SCIENCES EDITION）
2010年
4期
336-339,396
,共5页
电子束反应蒸发技术%ZnO薄膜%成熟化过程
電子束反應蒸髮技術%ZnO薄膜%成熟化過程
전자속반응증발기술%ZnO박막%성숙화과정
用电子束反应蒸发(REBE)方法在Si和白宝石衬底上低温生长了ZnO晶体薄膜.测量结果表明ZnO晶粒具有类柱状的生长特性,并且首次发现Si基ZnO外延层生长的Ostwald"成熟化"(ripening)过程.研究结果还表明这种"成熟化"出现和衬底结构有关,而且"成熟化"并不影响薄膜的生长取向;光荧光激发光谱(PLE)测量显示,在330～350 nm区域有一个较宽的荧光激发峰,该宽峰跟掩埋在外延层内部的2种尺寸的ZnO量子点有关.
用電子束反應蒸髮(REBE)方法在Si和白寶石襯底上低溫生長瞭ZnO晶體薄膜.測量結果錶明ZnO晶粒具有類柱狀的生長特性,併且首次髮現Si基ZnO外延層生長的Ostwald"成熟化"(ripening)過程.研究結果還錶明這種"成熟化"齣現和襯底結構有關,而且"成熟化"併不影響薄膜的生長取嚮;光熒光激髮光譜(PLE)測量顯示,在330～350 nm區域有一箇較寬的熒光激髮峰,該寬峰跟掩埋在外延層內部的2種呎吋的ZnO量子點有關.
용전자속반응증발(REBE)방법재Si화백보석츤저상저온생장료ZnO정체박막.측량결과표명ZnO정립구유류주상적생장특성,병차수차발현Si기ZnO외연층생장적Ostwald"성숙화"(ripening)과정.연구결과환표명저충"성숙화"출현화츤저결구유관,이차"성숙화"병불영향박막적생장취향;광형광격발광보(PLE)측량현시,재330～350 nm구역유일개교관적형광격발봉,해관봉근엄매재외연층내부적2충척촌적ZnO양자점유관.
