CAJ | 학술논문

采用双离子束溅射方法制备氧化钒薄膜,分别利用常规和快速两种升温方式对氧化钒薄膜进行热处理,利用傅里叶变换红外光谱技术对热处理后氧化钒薄膜的变温光学透射性能进行测试,并对5μm波长处透过率随温度的变化曲线进行相变特性分析.实验结果表明,经过常规和快速升温热处理后均获得了二氧化钒薄膜;快速升温热处理后得到的薄膜中二氧化钒晶粒较小,尺寸分布均匀;而常规升温热处理后的二氧化钒薄膜中晶粒尺寸分布较宽、常规和快速升温热处理后,氧化钒薄膜的光透过率均存在可逆突变特性,变化幅度均超过60%.相变性能分析结果表明,快速升温热处理获得的二氧化钒薄膜相变持续的温度宽度较大,光学相变温度为63.74℃,高于常规升温热处理的60.31℃.
채용쌍리자속천사방법제비양화범박막,분별이용상규화쾌속량충승온방식대양화범박막진행열처리,이용부리협변환홍외광보기술대열처리후양화범박막적변온광학투사성능진행측시,병대5μm파장처투과솔수온도적변화곡선진행상변특성분석.실험결과표명,경과상규화쾌속승온열처리후균획득료이양화범박막;쾌속승온열처리후득도적박막중이양화범정립교소,척촌분포균균;이상규승온열처리후적이양화범박막중정립척촌분포교관、상규화쾌속승온열처리후,양화범박막적광투과솔균존재가역돌변특성,변화폭도균초과60%.상변성능분석결과표명,쾌속승온열처리획득적이양화범박막상변지속적온도관도교대,광학상변온도위63.74℃,고우상규승온열처리적60.31℃.