具有定向及自控制功能的真空镀膜系统
구유정향급자공제공능적진공도막계통
Vacuum deposition system with directionalism and autocontrol functions
  • 万方数据
    物理实验 물리실험
    PHYSICS EXPERIMENTATION
    2005年 9期 45-47 ,共3页

    徐仁军%贺天民%王魁香

    서인군%하천민%왕괴향

    真空镀膜%自动控制%膜厚 真空鍍膜%自動控製%膜厚
    진공도막%자동공제%막후
    对现有真空镀膜系统进行了改进,在原系统中增加了定向装置和5个控制装置,可实现定向镀膜和有效地控制膜厚,进而显著提高膜层质量.
    대현유진공도막계통진행료개진,재원계통중증가료정향장치화5개공제장치,가실현정향도막화유효지공제막후,진이현저제고막층질량.
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