大连海事大学学报
大連海事大學學報
대련해사대학학보
JOURNAL OF DALIAN MARITIME UNIVERSITY
2006年
2期
101-105
,共5页
ZnO薄膜%磁控溅射%表面形貌%功率谱密度%分形维数
ZnO薄膜%磁控濺射%錶麵形貌%功率譜密度%分形維數
ZnO박막%자공천사%표면형모%공솔보밀도%분형유수
采用磁控溅射方法在Si (001)制备ZnO薄膜,利用原子力显微镜对不同退火温度的ZnO薄膜表面形貌进行表征.结果表明:薄膜的微观形貌、表面粗糙度和分形维数取决于退火温度的变化.在退火温度从室温上升到1000℃过程中,薄膜表面粗糙度逐渐降低,700℃降至最小,而后又迅速粗糙.探讨了不同退火温度下薄膜表面的粗糙机理.
採用磁控濺射方法在Si (001)製備ZnO薄膜,利用原子力顯微鏡對不同退火溫度的ZnO薄膜錶麵形貌進行錶徵.結果錶明:薄膜的微觀形貌、錶麵粗糙度和分形維數取決于退火溫度的變化.在退火溫度從室溫上升到1000℃過程中,薄膜錶麵粗糙度逐漸降低,700℃降至最小,而後又迅速粗糙.探討瞭不同退火溫度下薄膜錶麵的粗糙機理.
채용자공천사방법재Si (001)제비ZnO박막,이용원자력현미경대불동퇴화온도적ZnO박막표면형모진행표정.결과표명:박막적미관형모、표면조조도화분형유수취결우퇴화온도적변화.재퇴화온도종실온상승도1000℃과정중,박막표면조조도축점강저,700℃강지최소,이후우신속조조.탐토료불동퇴화온도하박막표면적조조궤리.
