浙江大学学报（理学版）
浙江大學學報（理學版）
절강대학학보（이학판）
JOURNAL OF ZHEJIANG UNIVERSITY
2008年
3期
280-284
,共5页
杨红%金达莱%马照军%王勇%汪新颜%姚奎鸿
楊紅%金達萊%馬照軍%王勇%汪新顏%姚奎鴻
양홍%금체래%마조군%왕용%왕신안%요규홍
热CVD法%纳米硅粉%均相分解
熱CVD法%納米硅粉%均相分解
열CVD법%납미규분%균상분해
采用简单的热CVD反应法成功制备了纳米硅粉、X射线衍射和透射电镜结果表明:该产物是无定形的球形纳米粉体,粒径为20～100 nm.粉体粒径随分解温度敏感,温度升高粒径减小,但高于700℃时急剧增加.傅立叶红外分析表明,粉体存在Si-H键,且H含量随分解温度升高而降低.进一步研究表明,该无定形纳米硅粉经700℃退火处理可转变为晶体硅.
採用簡單的熱CVD反應法成功製備瞭納米硅粉、X射線衍射和透射電鏡結果錶明:該產物是無定形的毬形納米粉體,粒徑為20～100 nm.粉體粒徑隨分解溫度敏感,溫度升高粒徑減小,但高于700℃時急劇增加.傅立葉紅外分析錶明,粉體存在Si-H鍵,且H含量隨分解溫度升高而降低.進一步研究錶明,該無定形納米硅粉經700℃退火處理可轉變為晶體硅.
채용간단적열CVD반응법성공제비료납미규분、X사선연사화투사전경결과표명:해산물시무정형적구형납미분체,립경위20～100 nm.분체립경수분해온도민감,온도승고립경감소,단고우700℃시급극증가.부립협홍외분석표명,분체존재Si-H건,차H함량수분해온도승고이강저.진일보연구표명,해무정형납미규분경700℃퇴화처리가전변위정체규.
