微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
3期
60-64
,共5页
吴立丰%喻迪%张新宇%张天序
吳立豐%喻迪%張新宇%張天序
오립봉%유적%장신우%장천서
面阵液晶微透镜%红外焦平面阵列%自适应成像探测
麵陣液晶微透鏡%紅外焦平麵陣列%自適應成像探測
면진액정미투경%홍외초평면진렬%자괄응성상탐측
主要讨论了面阵电控液晶微透镜在设计、制作和测试等方面的若干关键性问题,主要包括:(一)进行了液晶结构电极间的电场分布仿真;(二)通过标准微电子工艺制作了原理性器件;(三)采用高斯激光束照射液晶结构,在改变驱动电压的情形下获得了所需要的电控光学干涉性能.所制作的阵列液晶微透镜具有制作工艺简单、器件紧凑、灵巧、功耗低、操作方便、易于匹配耦合与集成等特点.分析了将所发展的液晶微透镜技术用于改善和增强红外焦平面探测结构的光电性能等方面的问题.
主要討論瞭麵陣電控液晶微透鏡在設計、製作和測試等方麵的若榦關鍵性問題,主要包括:(一)進行瞭液晶結構電極間的電場分佈倣真;(二)通過標準微電子工藝製作瞭原理性器件;(三)採用高斯激光束照射液晶結構,在改變驅動電壓的情形下穫得瞭所需要的電控光學榦涉性能.所製作的陣列液晶微透鏡具有製作工藝簡單、器件緊湊、靈巧、功耗低、操作方便、易于匹配耦閤與集成等特點.分析瞭將所髮展的液晶微透鏡技術用于改善和增彊紅外焦平麵探測結構的光電性能等方麵的問題.
주요토론료면진전공액정미투경재설계、제작화측시등방면적약간관건성문제,주요포괄:(일)진행료액정결구전겁간적전장분포방진;(이)통과표준미전자공예제작료원이성기건;(삼)채용고사격광속조사액정결구,재개변구동전압적정형하획득료소수요적전공광학간섭성능.소제작적진렬액정미투경구유제작공예간단、기건긴주、령교、공모저、조작방편、역우필배우합여집성등특점.분석료장소발전적액정미투경기술용우개선화증강홍외초평면탐측결구적광전성능등방면적문제.
