人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
6期
1552-1556
,共5页
刘卓佳%刘保亭%彭增伟%代秀红%闫会芳%付跃举%赵庆勋
劉卓佳%劉保亭%彭增偉%代秀紅%閆會芳%付躍舉%趙慶勛
류탁가%류보정%팽증위%대수홍%염회방%부약거%조경훈
Pb过量%铁电电容器%PZT%极化翻转%溶胶-凝胶
Pb過量%鐵電電容器%PZT%極化翻轉%溶膠-凝膠
Pb과량%철전전용기%PZT%겁화번전%용효-응효
以射频磁控溅射法生长的La0.5Sr0.5CoO3( LSCO)为电极,采用溶胶-凝胶法在以Ti-Al为导电阻挡层的Si基片上生长了用不同Pb过量前驱体溶液(溶胶)制备的LSCO/Pb( Zro4Ti0.6)O3(PZT)/LSCO电容器,以此构造了Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si异质结.Pb过量对LSCO/PZT/LSCO电容器极化翻转性能的影响表明:不同Pb过量溶胶对电容器的极化翻转性能影响很大,其中Pb过量15％的溶胶制备的样品在550℃常规退火1h后相对具有较好的翻转性能.在5V的外加电场下,LSCO/PZT/LSCO电容器的矫顽电压和剩余极化强度分别为1.25V和24.6μC/cm2.疲劳和电阻率测试分析表明:在经过109翻转后,不同样品的抗疲劳性能均很好,而电阻率随前驱体溶液Pb过量的增加呈现下降的趋势.
以射頻磁控濺射法生長的La0.5Sr0.5CoO3( LSCO)為電極,採用溶膠-凝膠法在以Ti-Al為導電阻擋層的Si基片上生長瞭用不同Pb過量前驅體溶液(溶膠)製備的LSCO/Pb( Zro4Ti0.6)O3(PZT)/LSCO電容器,以此構造瞭Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si異質結.Pb過量對LSCO/PZT/LSCO電容器極化翻轉性能的影響錶明:不同Pb過量溶膠對電容器的極化翻轉性能影響很大,其中Pb過量15％的溶膠製備的樣品在550℃常規退火1h後相對具有較好的翻轉性能.在5V的外加電場下,LSCO/PZT/LSCO電容器的矯頑電壓和剩餘極化彊度分彆為1.25V和24.6μC/cm2.疲勞和電阻率測試分析錶明:在經過109翻轉後,不同樣品的抗疲勞性能均很好,而電阻率隨前驅體溶液Pb過量的增加呈現下降的趨勢.
이사빈자공천사법생장적La0.5Sr0.5CoO3( LSCO)위전겁,채용용효-응효법재이Ti-Al위도전조당층적Si기편상생장료용불동Pb과량전구체용액(용효)제비적LSCO/Pb( Zro4Ti0.6)O3(PZT)/LSCO전용기,이차구조료Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si이질결.Pb과량대LSCO/PZT/LSCO전용기겁화번전성능적영향표명:불동Pb과량용효대전용기적겁화번전성능영향흔대,기중Pb과량15％적용효제비적양품재550℃상규퇴화1h후상대구유교호적번전성능.재5V적외가전장하,LSCO/PZT/LSCO전용기적교완전압화잉여겁화강도분별위1.25V화24.6μC/cm2.피로화전조솔측시분석표명:재경과109번전후,불동양품적항피로성능균흔호,이전조솔수전구체용액Pb과량적증가정현하강적추세.
