机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2012年
4期
72-77
,共6页
王均涛%刘平%杨丽红%李伟%刘新宽%马凤仓
王均濤%劉平%楊麗紅%李偉%劉新寬%馬鳳倉
왕균도%류평%양려홍%리위%류신관%마봉창
TiAlN/AlON纳米多层涂层%超硬效应%非晶晶化%共格外延生长%磁控溅射
TiAlN/AlON納米多層塗層%超硬效應%非晶晶化%共格外延生長%磁控濺射
TiAlN/AlON납미다층도층%초경효응%비정정화%공격외연생장%자공천사
通过磁控溅射制取一系列不同AlON厚度的TiAlN/AlON纳米多层涂层,并用X射线衍射、扫描电镜、高分辨透射电镜和纳米压痕仪分别对微观结构和力学性能进行表征和测量.研究表明:非晶态的AlON在厚度约小于1 nm时,在TiAlN模板作用下转变为晶体结构,并与TiAlN呈共格外延生长,出现超硬效应,当AlON厚度为0.7 nm时,硬度和弹性模量分别最高可达38.1 GPa和385.6 GPa.当AlON厚度超过1nm时,逐渐转变为非晶结构并且破坏了多层涂层的共格外延生长,硬度随之降低.因此利用这种机制可以制备出力学性能好、耐高温氧化性的刀具涂层,满足现代切削的需要.
通過磁控濺射製取一繫列不同AlON厚度的TiAlN/AlON納米多層塗層,併用X射線衍射、掃描電鏡、高分辨透射電鏡和納米壓痕儀分彆對微觀結構和力學性能進行錶徵和測量.研究錶明:非晶態的AlON在厚度約小于1 nm時,在TiAlN模闆作用下轉變為晶體結構,併與TiAlN呈共格外延生長,齣現超硬效應,噹AlON厚度為0.7 nm時,硬度和彈性模量分彆最高可達38.1 GPa和385.6 GPa.噹AlON厚度超過1nm時,逐漸轉變為非晶結構併且破壞瞭多層塗層的共格外延生長,硬度隨之降低.因此利用這種機製可以製備齣力學性能好、耐高溫氧化性的刀具塗層,滿足現代切削的需要.
통과자공천사제취일계렬불동AlON후도적TiAlN/AlON납미다층도층,병용X사선연사、소묘전경、고분변투사전경화납미압흔의분별대미관결구화역학성능진행표정화측량.연구표명:비정태적AlON재후도약소우1 nm시,재TiAlN모판작용하전변위정체결구,병여TiAlN정공격외연생장,출현초경효응,당AlON후도위0.7 nm시,경도화탄성모량분별최고가체38.1 GPa화385.6 GPa.당AlON후도초과1nm시,축점전변위비정결구병차파배료다층도층적공격외연생장,경도수지강저.인차이용저충궤제가이제비출역학성능호、내고온양화성적도구도층,만족현대절삭적수요.
