微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2012年
3期
173-180
,共8页
关冉%张卫平%陈文元%张弓%成宇翔
關冉%張衛平%陳文元%張弓%成宇翔
관염%장위평%진문원%장궁%성우상
石英%微机械陀螺%压电效应%科氏加速度效应%微电子机械系统(MEMS)
石英%微機械陀螺%壓電效應%科氏加速度效應%微電子機械繫統(MEMS)
석영%미궤계타라%압전효응%과씨가속도효응%미전자궤계계통(MEMS)
首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状.然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类,并且对于不同结构的石英微机械陀螺的具体加工工艺、性能参数、应用领域等进行了综述.最后,对不同结构类型的石英微机械陀螺的尺寸、加工工艺,检测轴向,精度等参数进行了总结和对比,在此基础上分析了石英微机械陀螺的发展趋势,并指出了石英微机械陀螺研究中存在的问题,例如石英加工过程中产生的侧壁晶棱的不平整、石英侧壁电极的制作困难以及石英微机械陀螺多轴化应用的限制等.
首先介紹瞭石英微機械陀螺基于壓電效應和科氏加速度的工作原理,迴顧瞭石英微機械陀螺的髮展歷程,併且介紹瞭石英微機械陀螺的國內外髮展現狀.然後,針對石英微機械陀螺不同的結構進行瞭分類,併且對于不同結構的石英微機械陀螺的具體加工工藝、性能參數、應用領域等進行瞭綜述.最後,對不同結構類型的石英微機械陀螺的呎吋、加工工藝,檢測軸嚮,精度等參數進行瞭總結和對比,在此基礎上分析瞭石英微機械陀螺的髮展趨勢,併指齣瞭石英微機械陀螺研究中存在的問題,例如石英加工過程中產生的側壁晶稜的不平整、石英側壁電極的製作睏難以及石英微機械陀螺多軸化應用的限製等.
수선개소료석영미궤계타라기우압전효응화과씨가속도적공작원리,회고료석영미궤계타라적발전역정,병차개소료석영미궤계타라적국내외발전현상.연후,침대석영미궤계타라불동적결구진행료분류,병차대우불동결구적석영미궤계타라적구체가공공예、성능삼수、응용영역등진행료종술.최후,대불동결구류형적석영미궤계타라적척촌、가공공예,검측축향,정도등삼수진행료총결화대비,재차기출상분석료석영미궤계타라적발전추세,병지출료석영미궤계타라연구중존재적문제,례여석영가공과정중산생적측벽정릉적불평정、석영측벽전겁적제작곤난이급석영미궤계타라다축화응용적한제등.
