贵金属
貴金屬
귀금속
PRECIOUS METALS
2005年
2期
57-63
,共7页
胡昌义%戴姣燕%陈松%欧阳远良%王云
鬍昌義%戴姣燕%陳鬆%歐暘遠良%王雲
호창의%대교연%진송%구양원량%왕운
金属材料%贵金属薄膜和涂层%化学气相沉积%前驱体%应用
金屬材料%貴金屬薄膜和塗層%化學氣相沉積%前驅體%應用
금속재료%귀금속박막화도층%화학기상침적%전구체%응용
简要介绍了贵金属薄膜和涂层材料化学气相沉积(CVD)技术的研究进展,包括贵金属的CVD制备方法、沉积贵金属的各种前驱体化合物以及CVD制备的贵金属薄膜和涂层的应用状况等.
簡要介紹瞭貴金屬薄膜和塗層材料化學氣相沉積(CVD)技術的研究進展,包括貴金屬的CVD製備方法、沉積貴金屬的各種前驅體化閤物以及CVD製備的貴金屬薄膜和塗層的應用狀況等.
간요개소료귀금속박막화도층재료화학기상침적(CVD)기술적연구진전,포괄귀금속적CVD제비방법、침적귀금속적각충전구체화합물이급CVD제비적귀금속박막화도층적응용상황등.
