激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2005年
5期
48-50,55
,共4页
包洪涛%戴基智%杨亚培%赵天卓%佟会%罗辉
包洪濤%戴基智%楊亞培%趙天卓%佟會%囉輝
포홍도%대기지%양아배%조천탁%동회%라휘
光波导%硅基%二氧化硅%溶胶凝胶法%火焰水解法%等离子体增强化学气相沉积
光波導%硅基%二氧化硅%溶膠凝膠法%火燄水解法%等離子體增彊化學氣相沉積
광파도%규기%이양화규%용효응효법%화염수해법%등리자체증강화학기상침적
随着光通信的飞速发展,Si基SiO2平面光波导集成器件的应用更加重要和广泛.在Si基上制备高质量的厚SiO2薄膜,是制作SiO2光波导及其集成器件的基础.本文介绍了Si基厚SiO2薄膜的几种制备方法.
隨著光通信的飛速髮展,Si基SiO2平麵光波導集成器件的應用更加重要和廣汎.在Si基上製備高質量的厚SiO2薄膜,是製作SiO2光波導及其集成器件的基礎.本文介紹瞭Si基厚SiO2薄膜的幾種製備方法.
수착광통신적비속발전,Si기SiO2평면광파도집성기건적응용경가중요화엄범.재Si기상제비고질량적후SiO2박막,시제작SiO2광파도급기집성기건적기출.본문개소료Si기후SiO2박막적궤충제비방법.
