CAJ | 학술논문

在表面微型机械结构的制造过程中,强的毛细相互作用常常使得组成这些结构的微桥、微梁与基底粘附而导致失效.而在微尺度实验中,微桥与微梁又是微尺度材料常数和性能检测的常用的试件样式,如果实验中加载端与被检测的微尺度试件发生毛细粘附,将直接影响检测数据的准确性.本文应用微悬臂梁试件,讨论微梁与基底间的毛细粘附作用,并通过能量原理计算其粘附力的大小和试件几何尺寸、粘附面距离、粘附液体特性之间的关系.最后应用微散斑干涉,检测粘附平衡态时微桥和微梁的粘附力以及由毛细粘附所导致的弯曲变形,并与理论计算结果进行比较.
재표면미형궤계결구적제조과정중,강적모세상호작용상상사득조성저사결구적미교、미량여기저점부이도치실효.이재미척도실험중,미교여미량우시미척도재료상수화성능검측적상용적시건양식,여과실험중가재단여피검측적미척도시건발생모세점부,장직접영향검측수거적준학성.본문응용미현비량시건,토론미량여기저간적모세점부작용,병통과능량원리계산기점부력적대소화시건궤하척촌、점부면거리、점부액체특성지간적관계.최후응용미산반간섭,검측점부평형태시미교화미량적점부력이급유모세점부소도치적만곡변형,병여이론계산결과진행비교.