光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2006年
6期
881-885
,共5页
顾春时%王占山%穆宝忠%王风丽%张众%秦树基%陈玲燕
顧春時%王佔山%穆寶忠%王風麗%張衆%秦樹基%陳玲燕
고춘시%왕점산%목보충%왕풍려%장음%진수기%진령연
KB型显微镜%X射线非周期多层膜%X射线成像%空间分辨率
KB型顯微鏡%X射線非週期多層膜%X射線成像%空間分辨率
KB형현미경%X사선비주기다층막%X사선성상%공간분변솔
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量.使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8 keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2 μm,200微米视场的空间分辨率优于 10 μm.采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8 keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求.使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像.
本文設計瞭慣性約束聚變(ICF)診斷實驗用X射線Kirkpatrick-Baez(KB)顯微鏡,給齣瞭繫統的結構參量.使用ZEMAX光學軟件對KB型顯微鏡進行瞭性能模擬,結果錶明:在8 keV能點,放大率為8倍時,軸上點的最佳空間分辨率小于2 μm,200微米視場的空間分辨率優于 10 μm.採用磁控濺射方法製備瞭W/B4C非週期多層膜,經X射線衍射儀(XRD,工作能量8 keV)測量,其反射率為20%,帶寬為0.3°,達到瞭KB型顯微鏡成像繫統的要求.使用Cu靶X射線管進行瞭成像實驗,得到瞭放大倍數分彆為1倍和2倍的一維X射線像.
본문설계료관성약속취변(ICF)진단실험용X사선Kirkpatrick-Baez(KB)현미경,급출료계통적결구삼량.사용ZEMAX광학연건대KB형현미경진행료성능모의,결과표명:재8 keV능점,방대솔위8배시,축상점적최가공간분변솔소우2 μm,200미미시장적공간분변솔우우 10 μm.채용자공천사방법제비료W/B4C비주기다층막,경X사선연사의(XRD,공작능량8 keV)측량,기반사솔위20%,대관위0.3°,체도료KB형현미경성상계통적요구.사용Cu파X사선관진행료성상실험,득도료방대배수분별위1배화2배적일유X사선상.
