广东技术师范学院学报
廣東技術師範學院學報
엄동기술사범학원학보
JOURNAL OF GUANGDONG POLYTECHNIC NORMAL UNIVERSITY
2007年
7期
21-24
,共4页
ITO薄膜%溶胶一凝胶法%热处理时间%小丘生长%光电性能
ITO薄膜%溶膠一凝膠法%熱處理時間%小丘生長%光電性能
ITO박막%용효일응효법%열처리시간%소구생장%광전성능
采用溶胶一凝胶法在玻璃基体上制备了ITO薄膜,研究了后续热处理时间对ITO薄膜显微组织及光电性能的影响.研究结果表明:随着热处理时间的延长,ITO薄膜的微观形貌发生了很大的变化,出现了小丘生长并伴随着回复与再结晶过程,严重影响了ITO薄膜的光电性能.
採用溶膠一凝膠法在玻璃基體上製備瞭ITO薄膜,研究瞭後續熱處理時間對ITO薄膜顯微組織及光電性能的影響.研究結果錶明:隨著熱處理時間的延長,ITO薄膜的微觀形貌髮生瞭很大的變化,齣現瞭小丘生長併伴隨著迴複與再結晶過程,嚴重影響瞭ITO薄膜的光電性能.
채용용효일응효법재파리기체상제비료ITO박막,연구료후속열처리시간대ITO박막현미조직급광전성능적영향.연구결과표명:수착열처리시간적연장,ITO박막적미관형모발생료흔대적변화,출현료소구생장병반수착회복여재결정과정,엄중영향료ITO박막적광전성능.
