纳米ZnO生长及性质分析
납미ZnO생장급성질분석
Growth and Properties of Nano ZnO
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2008年 3期 527-531 ,共5页

    刘少波%顾书林%刘伟%张丹羽%刘雪冬%朱顺明%丁维平%张荣%郑有炓

    류소파%고서림%류위%장단우%류설동%주순명%정유평%장영%정유료

    ZnO'纳米柱%气-液-固/气-固生长机制%低压金属有机化学气相沉积法 ZnO'納米柱%氣-液-固/氣-固生長機製%低壓金屬有機化學氣相沉積法
    ZnO'납미주%기-액-고/기-고생장궤제%저압금속유궤화학기상침적법
    利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术,在表面含有ZnO颗粒作为催化剂的Si(111)衬底上制备了ZnO纳米柱阵列.采用X射线衍射(XRD)、喇曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、光致发光(PL)谱分析了样品的晶体结构质量、表面性质和光学性质.结果表明,生长出来的纳米ZnO具有较好的c轴择优取向性.发现氧分压对ZnO纳米柱的生长有重要影响:当氧分压较低时,生长基于VLS机制;当氧分压较高时,生长基于VS机制;通过对N2O流量的控制可实现对ZnO纳米材料的可控生长.
    이용저압금속유궤화학기상침적(LP-MOCVD)기술,재표면함유ZnO과립작위최화제적Si(111)츤저상제비료ZnO납미주진렬.채용X사선연사(XRD)、나만광보(Raman)、소묘전자현미경(SEM)、광치발광(PL)보분석료양품적정체결구질량、표면성질화광학성질.결과표명,생장출래적납미ZnO구유교호적c축택우취향성.발현양분압대ZnO납미주적생장유중요영향:당양분압교저시,생장기우VLS궤제;당양분압교고시,생장기우VS궤제;통과대N2O류량적공제가실현대ZnO납미재료적가공생장.
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