泉州师范学院学报
泉州師範學院學報
천주사범학원학보
JOURNAL OF QUANZHOU NORMAL COLLGEG
2010年
2期
27-31
,共5页
磁控溅射%AZO薄膜%XRD谱
磁控濺射%AZO薄膜%XRD譜
자공천사%AZO박막%XRD보
采用直流反应磁控溅射法,制备了铝掺杂的氧化锌薄膜.结果显示:薄膜在500℃退火后透光率高,光敏特性良好,并且有明显的紫外光响应.其XRD衍射谱表明随着O2与Ar流量比的增加,对应于(002)晶面的衍射峰趋于尖锐,c轴取向突出明显.
採用直流反應磁控濺射法,製備瞭鋁摻雜的氧化鋅薄膜.結果顯示:薄膜在500℃退火後透光率高,光敏特性良好,併且有明顯的紫外光響應.其XRD衍射譜錶明隨著O2與Ar流量比的增加,對應于(002)晶麵的衍射峰趨于尖銳,c軸取嚮突齣明顯.
채용직류반응자공천사법,제비료려참잡적양화자박막.결과현시:박막재500℃퇴화후투광솔고,광민특성량호,병차유명현적자외광향응.기XRD연사보표명수착O2여Ar류량비적증가,대응우(002)정면적연사봉추우첨예,c축취향돌출명현.
