核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2012年
3期
206-212
,共7页
N2等离子体%射频放电%PIC-MC模拟
N2等離子體%射頻放電%PIC-MC模擬
N2등리자체%사빈방전%PIC-MC모의
采用PIC-MC自治模型,模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e,N2+,N+)的行为.结果表明,离子(N2+,N+)的运动状态滞后瞬时射频电场的变化；在两极附近,N2+具较高密度,但能量较低,N+具较低的密度但能量较高,两者的密度差6倍左右.两种离子轰击射频电极的能量分布变化规律类似,随放电参数变化,离子(N2+,N+)能量变化显著,其密度变化不明显.模拟的电子能量几率分布与测量结果一致.
採用PIC-MC自治模型,模擬瞭氮氣電容性耦閤射頻放電的微觀等離子體過程及帶電粒子(e,N2+,N+)的行為.結果錶明,離子(N2+,N+)的運動狀態滯後瞬時射頻電場的變化；在兩極附近,N2+具較高密度,但能量較低,N+具較低的密度但能量較高,兩者的密度差6倍左右.兩種離子轟擊射頻電極的能量分佈變化規律類似,隨放電參數變化,離子(N2+,N+)能量變化顯著,其密度變化不明顯.模擬的電子能量幾率分佈與測量結果一緻.
채용PIC-MC자치모형,모의료담기전용성우합사빈방전적미관등리자체과정급대전입자(e,N2+,N+)적행위.결과표명,리자(N2+,N+)적운동상태체후순시사빈전장적변화；재량겁부근,N2+구교고밀도,단능량교저,N+구교저적밀도단능량교고,량자적밀도차6배좌우.량충리자굉격사빈전겁적능량분포변화규률유사,수방전삼수변화,리자(N2+,N+)능량변화현저,기밀도변화불명현.모의적전자능량궤솔분포여측량결과일치.
