广东工业大学学报
廣東工業大學學報
엄동공업대학학보
JOURNAL OF GUANGDONG UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
1999年
2期
5-8
,共4页
许立梓%李传芳%林文豪%郑锐生
許立梓%李傳芳%林文豪%鄭銳生
허립재%리전방%림문호%정예생
计算机测量系统%β射线测厚%薄膜厚度
計算機測量繫統%β射線測厚%薄膜厚度
계산궤측량계통%β사선측후%박막후도
介绍用β射线在线自动测试薄膜厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能、测试原理及软件.
介紹用β射線在線自動測試薄膜厚度的計算機測量繫統的基本構成、繫統功能、測試原理及軟件.
개소용β사선재선자동측시박막후도적계산궤측량계통적기본구성、계통공능、측시원리급연건.
