微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2000年
1期
55-60
,共6页
章吉良%杨春生%赵小林%张卫平%蔡炳初
章吉良%楊春生%趙小林%張衛平%蔡炳初
장길량%양춘생%조소림%장위평%채병초
电磁型微马达%Ti合金叶轮%旋转式微泵
電磁型微馬達%Ti閤金葉輪%鏇轉式微泵
전자형미마체%Ti합금협륜%선전식미빙
在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中,均需要流量的精细控制和检测系统.在这类流量精细控制和检测系统中,微小型泵是一个基本元件.作者利用上海交通大学研制成功的、由微细加工工艺制备的、直径为2mm的电磁型微马达作驱动源,并配以电火花加工工艺制备的蜗壳和Ti合金叶轮制成旋转式微泵.微泵的外形尺寸为φ4.5×6.5mm,最大流量可达12ml/min,流量可根据马达转速进行调节.
在生物醫學、化學液體的流量檢測與分析及固態元器件冷卻等領域中,均需要流量的精細控製和檢測繫統.在這類流量精細控製和檢測繫統中,微小型泵是一箇基本元件.作者利用上海交通大學研製成功的、由微細加工工藝製備的、直徑為2mm的電磁型微馬達作驅動源,併配以電火花加工工藝製備的蝸殼和Ti閤金葉輪製成鏇轉式微泵.微泵的外形呎吋為φ4.5×6.5mm,最大流量可達12ml/min,流量可根據馬達轉速進行調節.
재생물의학、화학액체적류량검측여분석급고태원기건냉각등영역중,균수요류량적정세공제화검측계통.재저류류량정세공제화검측계통중,미소형빙시일개기본원건.작자이용상해교통대학연제성공적、유미세가공공예제비적、직경위2mm적전자형미마체작구동원,병배이전화화가공공예제비적와각화Ti합금협륜제성선전식미빙.미빙적외형척촌위φ4.5×6.5mm,최대류량가체12ml/min,류량가근거마체전속진행조절.
